FIG. 10 is a schematic side view of several teeth of a lower support row of a wafer support rod, including a single wafer in a notch between two adjacent teeth;
【図１０】２つの隣接する歯の間のノッチ内にウエハを一つ配置させたときの、ウエハサポートロッドの下方支持列の複数の歯を概略的に示す側面図である。
FIG. 9 is a schematic side view of several teeth of an upper support row of a wafer support rod, including a single wafer in a notch between two adjacent teeth;
【図９】２つの隣接する歯の間のノッチ内にウエハを一つ配置させたときの、ウエハサポートロッドの上方支持列の複数の歯を概略的に示す側面図である。
FIG. 5 is a perspective view of the elevator of FIG. 3 and the transfer robot of FIG. 4 holding a single wafer at the point when the wafer is being transferred between the elevator and transfer robot;
【図５】エレベーターと搬送用ロボットの間でウエハが移されるときの、図３に示したエレベーターと、図４に示した搬送用ロボットを示す斜視図である。