The composition of claim 5 wherein said composition comprises about 5-25 wt. % of said bulky hydrophobic additive component based on the weight of said cyclic olefin polymer.
前記環式オレフィンポリマの重さを基準として、重量比率約5%乃至約25%の前記バルク状疎水性添加剤を含む、請求項5記載のフォトレジスト組成物。
ii) cyclic olefin monomer units each having a lactone moiety, wherein no oxygen atoms are present in any moiety intervening between said lactone moiety and a ring of the cyclic olefin.
ii)ラクトン部分と環式オレフィン環との間の介在部分に酸素原子が存在しない、前記ラクトン部分を有する環式オレフィンモノマ単位(を含むフォトレジスト組成物。)
The photoresist composition of claim 1 wherein said lactone moiety of said cyclic olefin monomer units ii) is a spirolactone moiety selected from the group consisting of 5-member ring spirolactones, 6-member ring spirolactones and 7-member ring spirolactones.
前記環式オレフィンモノマ単位ii)の前記ラクトン部分が、5員環スピロラクトン、6員環スピロラクトン、及び7員環スピロラクトンを含むグループから選択されるスピロラクトン部分である、請求項1記載のフォトレジスト組成物。
A photoresist composition comprising (a) a cyclic olefin polymer, and (b) a photosensitive acid generator, said cyclic olefin polymer comprising:
a)環式オレフィンポリマと、b)感光性酸生成剤を含むフォトレジスト組成物であって、前記環式オレフィンポリマが、(〜と、〜と、を含むフォトレジスト組成物。)
The photoresist composition of claim 1 wherein said lactone moiety of said cyclic olefin monomer units ii) is selected from the group consisting of (a) lactone fused to a cyclic olefin ring of said monomeric unit ii), (b) a lactone spiro-bonded to a cyclic olefin ring of said monomeric unit ii), (c) a lactone bonded directly to a cyclic olefin ring of said monomeric unit ii) without any atoms being shared between the lactone and said ring of the cyclic olefin, or (d) a lactone bonded to a cyclic olefin ring of said monomeric unit ii) through a hydrocarbon moiety.
前記環式オレフィンモノマ単位ii)の前記ラクトン部分が、a)前記モノマ単位ii)の環式オレフィン環に融合されるラクトン、b)前記モノマ単位ii)の環式オレフィン環にスピロ結合されるラクトン、c)ラクトンと環式オレフィンの前記環との間で原子が共有されずに、前記モノマ単位ii)の環式オレフィン環に直接結合されるラクトン、又はd)炭化水素部分を介して、前記モノマ単位の環式オレフィン環に結合されるラクトンを含むグループから選択される、請求項1記載のフォトレジスト組成物。
and alpha-olefin sulfonates,
及びα−オレフィンスルホネート類、
Specific anionic surfactants are di-alkyl sulfonates, di-alkyl ether sulfonates, di-alkylaryl sulfonates, di-alkanoyl isethionates, di-alkyl succinates, di-alkyl sulfosuccinates, di-N-alkoyl sarcosinates, di-alkyl phosphates, di-alkyl ether phosphates, di-alkyl ether carboxylates, and di-alpha-olefin sulfonates, especially their sodium, magnesium, ammonium and mono-, di- and triethanolamine salts.
特定の陰イオン性界面活性剤は、ジ−アルキルスルホネート類、ジ−アルキルエーテルスルホネート類、ジ−アルキルアリールスルホネート類、ジ−アルカノイルイセチオネート類、ジ−アルキルサクシネート類、ジ−アルキルスルホサクシネート類、ジ−N−アルコイルサルコシネート類、ジ−アルキルホスフェート類、ジ−アルキルエーテルホスフェート類、ジ−アルキルエーテルカルボキシレート類、及びジ−α−オレフィンスルホネート類、とりわけこれらのナトリウム、マグネシウム、アンモニウム、並びにモノ−、ジ−、及びトリエタノールアミン塩類である。
Anionic sulfonate surfactants suitable for use herein include the salts of a C5-C20 more preferably a C10-C16, more preferably a C11-C13 (linear) alkylbenzene sulfonates, alkyl ester sulfonates, C6-C22 primary or secondary alkane sulfonates, C6-C24 olefin sulfonates, sulfonated polycarboxylic acids, alkyl glycerol sulfonates, fatty acyl glycerol sulfonates, fatty oleyl glycerol sulfonates, and any mixtures thereof.
本明細書で使用する時のに好適なアニオン性スルホネート界面活性剤には、C5〜C20、より好ましくはC10〜C16、より好ましくはC11〜C13の(直鎖状の)アルキルベンゼンスルホネート、アルキルエステルスルホネート、C6〜C22第1級又は第2級アルカンスルホネート、C6〜C24オレフィンスルホネート、スルホン化ポリカルボン酸、アルキルグリセロールスルホネート、脂肪アシルグリセロールスルホネート、脂肪オレイルグリセロールスルホネート、及びこれらの混合物がある。
When this complex is used, even if an olefin compound having various functional groups such as ester, ketone and amido is employed as a reaction substance, the reaction selectively proceeds only with respect to the olefin sites.
この錯体を用いるとエステルやケトン、アミド等さまざまな官能基を持つオレフィン化合物を反応基質として用いた場合でもオレフィン部分とのみ選択的に反応が進行する。
The method of claim 1 wherein said halogenated material is a free-standing or supported film of a polymer selected from the group consisting of poly(tetrafluoroethylene), copolymers of tetrafluoroethylene and hexafluoropropylene, polytrifluorochloroethylene, copolymers of tetrafluoroethylene and an olefin, copolymers of trifluorochloroethylene and an olefin, copolymer of tetrafluoroethylene and polyperfluoroalkoxy resin, polyvinyl fluoride, polyvinylidene fluoride, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, copolymer of poly(tetrafluoro)ethylene and poly(ditrifluoromethyl(dioxole difluoro)ethylene, and mixtures thereof.
前記ハロゲン化物質が、ポリ(テトラフルオロエチレン)、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンのコポリマー、ポリトリフルオロクロロエチレン、テトラフルオロエチレンとオレフィンのコポリマー、トリフルオロクロロエチレンとオレフィンのコポリマー、テトラフルオロエチレンとポリペルフルオロアルコキシ樹脂のコポリマー、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ(テトラフルオロ)エチレンとポリ(ジトリフルオロメチル(ジオキソールジフルオロ)エチレンのコポリマー、及びその混合物からなる群から選択されるポリマーの自己支持性であるか又は支持されたフィルムである請求項1記載の方法。
wherein, M is hydrogen or a cation which provides charge neutrality, preferred cations include sodium and ammonium cations, wherein x is an integer of at least 7, preferably at least 9, y is an integer of at least 8, preferably at least 9; C10-C18 alkyl alkoxy carboxylates; mid-chain branched alkyl sulphates as described in more detail in US 6,020,303 and US 6,060,443; modified alkylbenzene sulphonate (MLAS) as described in more detail in WO 99/05243, WO 99/05242, WO 99/05244, WO 99/05082, WO 99/05084, WO 99/05241, WO 99/07656, WO 00/23549, and WO 00/23548; methyl ester sulphonate (MES); alpha-olefin sulphonate (AOS) and mixtures thereof.
式中、Mは水素又は電気的中性を付与するカチオンであり、好適なカチオン類にはナトリウムとアンモニウムカチオンを含み、xは少なくとも7の整数であり、好ましくは少なくとも9の整数であり、yは少なくとも8の整数であり、好ましくは少なくとも9の整数であり、米国特許6,020,303と同6,060,443号により詳細に記載されているようなC10〜C18のアルキルアルコキシカルボン酸塩類、中鎖分岐状アルキルサルフェート類、PCT国際公開特許WO99/05243、同99/05242、同99/05244、同99/05082、同99/05084、同99/05241、同99/07656、同00/23549及び同00/23545により詳細に記載されているような変性アルキルベンゼンサルフェート(MLAS)、メチルエステルスルホネート(MES)、α−オレフィンスルホネート(AOS)及びこれらの混合物からなる群から選択されて良い。
wherein, M is hydrogen or a cation which provides charge neutrality, preferred cations include sodium and ammonium cations, wherein x is an integer of at least 7, preferably at least 9, y is an integer of at least 8, preferably at least 9; C10-C18 alkyl alkoxy carboxylates; mid-chain branched alkyl sulphates as described in more detail in US 6,020,303 and US 6,060,443; modified alkylbenzene sulphonate (MLAS) as described in more detail in WO 99/05243, WO 99/05242, WO 99/05244, WO 99/05082, WO 99/05084, WO 99/05241, WO 99/07656, WO 00/23549, and WO 00/23548; methyl ester sulphonate (MES); alpha-olefin sulphonate (AOS) and mixtures thereof.
式中、Mは水素又は電気的中性を付与するカチオンであり、好適なカチオン類にはナトリウムとアンモニウムカチオンを含み、xは少なくとも7の整数であり、好ましくは少なくとも9の整数であり、yは少なくとも8の整数であり、好ましくは少なくとも9の整数であり、米国特許6,020,303と同6,060,443号により詳細に記載されているようなC10〜C18のアルキルアルコキシカルボン酸塩類、中鎖分岐状アルキルサルフェート類、PCT国際公開特許WO99/05243、同99/05242、同99/05244、同99/05082、同99/05084、同99/05241、同99/07656、同00/23549及び同00/23545により詳細に記載されているような変性アルキルベンゼンサルフェート(MLAS)、メチルエステルスルホネート(MES)、α−オレフィンスルホネート(AOS)及びこれらの混合物からなる群から選択されて良い。
wherein, M is hydrogen or a cation which provides charge neutrality, preferred cations are sodium and ammonium cations, wherein x is an integer of at least 7, preferably at least 9, y is an integer of at least 8, preferably at least 9; C10-C18 alkyl alkoxy carboxylates; mid-chain branched alkyl sulphates as described in more detail in US 6,020,303 and US 6,060,443; modified alkylbenzene sulphonate (MLAS) as described in more detail in WO 99/05243, WO 99/05242, WO 99/05244, WO 99/05082, WO 99/05084, WO 99/05241, WO 99/07656, WO 00/23549, and WO 00/23548; methyl ester sulphonate (MES); alpha-olefin sulphonate (AOS) and mixtures thereof.
式中、Mは水素又は電気的中性を付与するカチオンであり、好適なカチオン類にはナトリウムとアンモニウムカチオンを含み、xは少なくとも7の整数であり、好ましくは少なくとも9の整数であり、yは少なくとも8の整数であり、好ましくは少なくとも9の整数であり、米国特許6,020,303と同6,060,443号により詳細に記載されているようなC10〜C18のアルキルアルコキシカルボン酸塩類、中鎖分岐状アルキルサルフェート類、PCT国際公開特許WO99/05243、同99/05242、同99/05244、同99/05082、同99/05084、同99/05241、同99/07656、同00/23549及び同00/23545により詳細に記載されているような変性アルキルベンゼンサルフェート(MLAS)、メチルエステルスルホネート(MES)、α−オレフィンスルホネート(AOS)及びこれらの混合物からなる群から選択されて良い。
wherein, M is hydrogen or a cation which provides charge neutrality, preferred cations include sodium and ammonium cations, wherein x is an integer of at least 7, preferably at least 9, y is an integer of at least 8, preferably at least 9; C10-C18 alkyl alkoxy carboxylates; mid-chain branched alkyl sulphates as described in more detail in US 6,020,303 and US 6,060,443; modified alkylbenzene sulphonate (MLAS) as described in more detail in WO 99/05243, WO 99/05242, WO 99/05244, WO 99/05082, WO 99/05084, WO 99/05241, WO 99/07656, WO 00/23549, and WO 00/23548; methyl ester sulphonate (MES); alpha-olefin sulphonate (AOS) and mixtures thereof.
式中、Mは水素又は電気的中性を付与するカチオンであり、好適なカチオン類にはナトリウムとアンモニウムカチオンを含み、xは少なくとも7の整数であり、好ましくは少なくとも9の整数であり、yは少なくとも8の整数であり、好ましくは少なくとも9の整数であり、米国特許6,020,303と同6,060,443号により詳細に記載されているようなC10〜C18のアルキルアルコキシカルボン酸塩類、中鎖分岐状アルキルサルフェート類、PCT国際公開特許WO99/05243、同99/05242、同99/05244、同99/05082、同99/05084、同99/05241、同99/07656、同00/23549及び同00/23545により詳細に記載されているような変性アルキルベンゼンサルフェート(MLAS)、メチルエステルスルホネート(MES)、α−オレフィンスルホネート(AOS)及びこれらの混合物からなる群から選択されて良い。
olefin
オレフィン
Component (C) is a catalyst of the addition reaction of silicon-bonded hydrogen atoms and alkenyl groups, and is concretely exemplified by chloroplatinic acid, possibly dissolved in an alcohol or ketone and this solution optionally aged, chloroplatinic acid- olefin complexes, chloroplatinic acid-alkenylsiloxane complexes, chloroplatinic acid- diketone complexes, platinum black, and carrier-supported platinum.
成分(C)は、ケイ素結合した水素原子とアルケニル基の付加反応の触媒であり、具体例としては、塩化白金酸、できればアルコール又はケトンに溶解させてその溶液を任意で熟成させた塩化白金酸、塩化白金酸−オレフィン錯体、塩化白金酸−アルケニルシロキサン錯体、塩化白金酸−ジケトン錯体、白金黒、及びキャリア−坦持の白金が挙げられる。
alpha-olefin sulphonate (AOS) and mixtures thereof.
α−オレフィンスルホネート(AOS)並びにこれらの混合物(からなる群から選択されることができる。)
Other suitable anionic detersive surfactants include olefin sulfonates having about 12 to about 24 carbon atoms.
他の好適なアニオン性洗浄性界面活性剤には、約12〜約24個の炭素原子を有するオレフィンスルホネート類がある。
The cyclization metathesis reaction is, in short, a reaction in which a compound having two alkenyl groups causes an olefin metathesis reaction to forms a cyclic compound.
要約すると、環化メタセシス反応は、2つのアルケニル基を持つ化合物がオレフィンメタセシス反応を起こし、環式化合物を形成する反応である。
The "Grubbs catalyst" herein is a generic term for the ruthenium carbene complex developed by Grubbs et al., which is reactive in the olefin metathesis reaction.
ここで、Grubbs錯体とは、Grubbsらによって開発されたオレフィンメタセシス反応に活性を示すルテニウムカルベン錯体の総称である。
Unreduced chromium oxide will eventually be reduced by the olefin monomers during polymerisation.
未還元の酸化クロムは、重合の間にオレフィンモノマーにより結局還元されるであろう。
i) cyclic olefin units each having an acid-labile moiety that inhibits solubility in aqueous alkaline solutions, and
i)水溶性アルカリ溶液内での溶解性を抑制する酸活性部分を各々有する、環式オレフィン単位と、
internal olefin gave conversion of below 90 %
内分オレフィンは90%以下の転換率になった
excess unreacted olefin may suitably be left in the product
余分の未反応オレフィンは生成物中に適当に残してもよい
greater degree of branching in the olefin reactant structure result in the preparation of less biodegradable surfactants
オレフィン反応体の架橋の程度が大きいと、生物分解性界面活性剤の生成が少なくなる