The polymers utilized in the present invention are synthesized by protecting the phenolic sites on the sidechains of a PHBS molecule with acid labile groups, which act as dissolution inhibitors.
本発明に用いられるポリマは、溶解インヒビタ（ｉｎｈｉｂｉｔｏｒ）として働く酸置換活性基を有するＰＨＢＳ分子の側鎖上のフェノール・サイトを保護することによって合成される。
However, in a chemically amplified system, 1 molecule of a sulfonic acid will further react with acid labile groups, thereby allowing the removal of up to 1000 acid labile groups with the absorption of a single photon; this, in turn, provides an increased rate of solubilization in the exposed areas of the resist.
しかし、化学増感された系では、スルホン酸の１分子は、酸置換活性基とさらに反応して、１フォトンの吸収で１０００個の酸置換活性基まで除去することを可能にする。このことはまた、レジストの露光領域における可溶化速度を増大させる。
Generally, during exposure in a non-chemically amplified system, absorption of 1 photon by the photoactive compound generates 1 molecule of a carboxylic acid.
一般に、化学増感されない系における露光の際には、光活性化合物による１フォトンの吸収は、カルボン酸の１分子を生成する。
Examples of suitable epoxy compounds, which may be solid or liquid, are the di- or polyglycidyl ethers of (cyclo)aliphatic or aromatic hydroxy compounds, such as ethylene glycol, glycerol or cyclohexanediol (or the epoxides as mentioned in the introduction), or cycloaliphatic epoxy compounds such as epoxidized styrene or divinylbenzene which may subsequently be hydrogenated; glycidyl esters of fatty acids, containing for example from 6-24 carbon atoms; glycidyl (meth)acrylate; epoxy compounds containing an isocyanurate group; an epoxidized polyalkadiene such as, for example, epoxidized polybutadiene; hydantoin epoxy resins; epoxy resins obtained by epoxidation of aliphatic and/or cycloaliphatic alkenes, such as, for example, dipentene dioxide, dicyclopentadiene dioxide and vinylcyclohexene dioxide, and resins containing glycidyl groups, for example polyesters or polyurethanes containing one or more glycidyl groups per molecule, or mixtures of the abovementioned epoxy resins.
固体でも液体でもよい適するエポキシ化合物の例には、（シクロ）−脂肪族−または芳香族ヒドロキシ化合物、例えばエチレングリコール、グリセロールまたはシクロヘキサンジオールのジ−またはポリグリシジルエーテル（または冒頭に記載したエポキシド）または本質的に水素化されていてもよい脂環式エポキシ化合物、例えばエポキシ化スチレンまたは−ジビニルベンゼン；例えば炭素原子数６〜２４の脂肪酸のグリシジルエステル；グリシジル（メタ）アクリレート；イソシアヌレート基含有のエポキシ化合物；エポキシ化ポリアルカジエン、例えばエポキシ化ポリブタジエン；ヒダントイン−エポキシ樹脂；脂肪族−および／または脂環式アリケンのエポキシ化によって得られるエポキシ樹脂、例えばジペンテンジオキサイド、ジシクロペンタジエン−ジオキサイドおよびビニルシクロヘキセン−ジオキサイド、およびグリシジル基含有樹脂、例えば１分子当たり一つまたは複数のグリシジル基を含むポリエステルまたはポリウレタン、または上記エポキシ樹脂の混合物がある。
Possible epoxides containing hydroxyl groups, within the meaning of the present invention, are also reaction products of compounds having at least two 1,2-epoxide groups per molecule and epoxide equivalent weights of from 160 to 600, and aromatic dicarboxylic acids or mixtures thereof with compounds from the group comprising (cyclo)aliphatic dicarboxylic acids, monocarboxylic acids and/or monohydric phenols, and optionally cyclic anhydrides.
本発明の意味においての水酸基含有の可能なエポキシドは、１分子当たりに少なくとも二つの１，２−エポキシ基および１６０〜６００のエポキシ当量を持つ化合物と芳香族ジカルボン酸またはそれと、（シクロ）脂肪族ジカルボン酸、モノカルボン酸および／または一価フェノール類および場合によっては環状酸無水物より成る群の化合物との混合物との反応生成物もある。
The weakly acidic cation exchanger can be produced at a temperature of 100[deg.]C or below by polymerizing a polymer having double bonds in the molecule by using a solvent which does not dissolve the polymer.
分子内に二重結合を持つ高分子を、該高分子が溶解しない溶媒を用い、重合することにより、１００℃以下の温度で弱酸性陽イオン交換体を製造できる。
CN double bond of the amine structure may be arranged both as part of an open-chain molecule and as a constituent of a cyclic or bicyclic system or also exocyclically on a ring system
アミン構造のCN二重結合は、開鎖分子の一部として配置されてもよく、環式もしくは二環式系の一成分としてあるいはまた環系の外にあってもよい
an epoxy resin having on average more than 1 epoxy group per molecule
平均して１モルあたり1モル以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂
the linear alternating structure implies that the polymers contain one molecule of carbon monoxide for each molecule of the olefinically unsaturated compound
線状交互構造は、ポリマーがオレフィン性不飽和化合物各分子あたり１分子の一酸化炭素を含むことを意味する
contain an average of more than two reactive amine hydrogen atom per molecule
１モルあたり平均二個以上の反応性アミンを含有する
DEVICE FOR REMOVING ORGANIC MOLECULE WITH ULTRAVIOLET RAY AND METHOD FOR REMOVING ORGANIC POLYMER FILM
紫外線による有機分子除去装置及び有機高分子膜の除去方法