レバレッジ特許翻訳講座管理人の日常と本音

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The present invention relates to a MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) switch and its fabrication method.
本発明は、MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)スイッチ及びその製造方法に係り、
FIG. 4 is a view showing a change of the gap of the reaction chamber by changing shapes of a separation plate and a guard ring in an embodiment of the present invention.
図4は、本発明のある実施態様分離板、ガードリングの形状を変えることにより反応チャンバのギャップを変更したことを示す図である。
FIG. 3 is a view showing a change of the exhaustion clearance by changing the shape of a separation plate in an embodiment of the present invention.
図3は、本発明のある実施態様において分離板形状を変えることにより排気の隙間を変更したことを示す図である。
FIG. 1 is a cross sectional view of a chamber useable in the present invention.
図1は、本発明で用い得るチャンバの断面図である。
same invention type double patent
同一型二重特許(米)
distinct invention
別個の発明
the invention is not disclosed adequately in the application
開示不十分
insufficient disclosure of the invention
発明の開示不十分

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